kla量測
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KLA-Tencor美商科磊股份有限公司為一專業設備廠,專精於提Semiconductor, Data storage, LED, Photovoltaic, and other related Nanoelectronics industries製程良率及提供製程控管量測整體方案。自1976年在美國加州成立以來,不斷致力於產品研究與發展,提供更完善的設備服務,更協助客戶創造高品質、高效能之產值。... http://www.scientech.com.tw KLA-Tencor推出4款全新量測系統 - Digitimes
KLA-Tencor推出4款全新量測系統. 吳冠儀; 2017-03-30. KLA-Tencor公司針對次10奈米(sub-10nm)積體電路(IC)元件的開發和量產推出4款創新的量測系統,Archer600疊對量測系統,WaferSight PWG2圖案化晶圓幾何形狀測量系統,SpectraShape 10K光學線寬(CD)量測系統和SensArray HighTemp 4mm即時溫度測量系統... https://www.digitimes.com.tw KLA-Tencor 兩款新量測設備,支援16 奈米積體電路生產| TechNews ...
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為加速量測機台運作能力,KLA-Tencor最近推出了線上程式支援服務(Online Recipe Services),未來用戶可透過線上全球的KLA-Tencor應用程式專家獲得協助。該服務是運用KLA-Tencor的高度安全網路iSupport,可提供專家現場支援、全天候線上支援以及內建在每個KLA-Tencor機台中的電子診斷功能。 https://www.eettaiwan.com KLA-Tencor新薄膜量測機台適用於45nm及以下製程 - 電子工程專輯
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