電子束缺陷檢測機
一. 儀器名稱. ＊中文名稱： 電子束晶圓缺陷檢測設備. ＊英文名稱：E-beam inspection tool. ＊英文簡稱： eScan310. 二. 儀器廠牌、型號、購置年限. 廠牌： HMI. ,2020年3月25日 — IC晶圓廠必須能夠即時檢測出缺陷，並儘可能在線上檢測，同時距離製程機台越近越好，速度越快越好。沒有檢測到的缺陷是無法對其進行控制的.
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一. 儀器名稱. ＊中文名稱： 電子束晶圓缺陷檢測設備. ＊英文名稱：E-beam inspection tool. ＊英文簡稱： eScan310. 二. 儀器廠牌、型號、購置年限. 廠牌： HMI. https://rd.nctu.edu.tw 光學+電子束新一代晶圓檢測系統讓缺陷無所遁形- 電子工程專輯
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子束製程監控系統等機台設備。電子束. 檢測設備需整合電子束及影像應用等科. 技，目前主要應用於半導體產業的晶圓. 缺陷檢測，可為客戶有效減少確認及排. http://www.tpex.org.tw 【ASML #研發人才招募中｜電子束缺陷檢測設備(E ... - Facebook
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