爐管機台
... 高溫氧化爐管(oxidation furnace)中利用高純度的O2或水蒸氣將Si反應成SiO2 【2】方式- 乾式(dry)氧化Si O2 → SiO2 濕式(wet)氧化Si 2H2O → SiO2 2H2 【3】機台- ... ,工機台先進且昂貴，動輒數千萬一台，其所需製造環境為為一溫度、濕度與含 ... 基本晶圓處理步驟通常是晶圓先經過適當的清洗（Cleaning）之後，送到熱爐管.
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