爐管 擴散
在IC製造的先期，氧化及擴散是其製程. 的基幹. 5 ... 常被稱為擴散爐(diffusion furnace). ( ff f. ) • 石英管 ... 爐管及反應室；晶圓裝載系統和排放系統所組. 成. • 垂直室 ... ,爐管. 氣流. 晶圓. Horizontal Furnace. 中心區域±0.5 °C. 1000 °C ±0.05%!. Page 3. 3. 5. Vertical Furnace 垂直式爐管 ... 擴散阻擋層、離子植入屏蔽氧化層…等. 10.
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爐管. 氣流. 晶圓. Horizontal Furnace. 中心區域±0.5 °C. 1000 °C ±0.05%!. Page 3. 3. 5. Vertical Furnace 垂直式爐管 ... 擴散阻擋層、離子植入屏蔽氧化層…等. 10. http://homepage.ntu.edu.tw LED製程設備合金退火wafer 晶片退火自動爐管手動 ... - 森積科技
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