爐管英文

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研究生中文名/Name, 唐福蓮. 研究生英文名/ Foreign Name, Fu-lien Tang. 中文題名/ Chinese Title, 半導體爐管製程中微粒與缺陷之探討. 英文題名/ Foreign ... ,【1】原理- 在低壓(0.1~10torr)的高溫氧化爐管(oxidation furnace)中利用高純度的O2或水蒸氣將Si反應成SiO2 【2】方式- 乾式(dry)氧化Si O2 → SiO2 濕式(wet)氧化Si ...

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WAFER四大製程@ 這是我的部落格:: 隨意窩Xuite日誌

【1】原理- 在低壓(0.1~10torr)的高溫氧化爐管(oxidation furnace)中利用高純度的O2或水蒸氣將Si反應成SiO2 【2】方式- 乾式(dry)氧化Si O2 → SiO2 濕式(wet)氧化Si ...

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高溫爐管的英文 - 海词

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第二十三章半導體製造概論

Silicate)如同冶金一樣,放入爐中熔解提煉,形成冶金級矽。由於冶金級矽 ... 基本晶圓處理步驟通常是晶圓先經過適當的清洗(Cleaning)之後,送到熱爐管(. Furnace) ...

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請問晶圓製程(薄膜、黃光、蝕刻、擴散)的觀念~15點| Yahoo奇摩知識+

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中文名稱, 氧化擴散系統A, 英文名稱, Oxidation & Diffusion furnaces ... 爐管預約使用以四個小時為一個區段,可適用的爐管為Wet Oxidation、P+ Annealing 、N+.

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