半導體爐管製程
比class 1 等級高的環境，環繞在晶圓和製程. 工具四周 ... 使用在front-end 半導體製程，通常在稱. 作擴散爐的高溫爐中進行 ... 低維修成本. ▫ 放置製程爐管呈垂直方向 ... ,半導體元件製造過程可概分為晶圓處理製程（Wafer Fabrication；簡稱Wafer. Fab）、晶 ... 基本晶圓處理步驟通常是晶圓先經過適當的清洗（Cleaning）之後，送到熱爐管.
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半導體元件製造過程可概分為晶圓處理製程（Wafer Fabrication；簡稱Wafer. Fab）、晶 ... 基本晶圓處理步驟通常是晶圓先經過適當的清洗（Cleaning）之後，送到熱爐管. http://blog.ylsh.ilc.edu.tw Chapter 5 加熱製程 - 義守大學
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