濕式蝕刻機

半導體的蝕刻可分為乾式蝕刻與溼式蝕刻:1) 溼式 ... 光阻下面的多晶矽上圖1(b);最後利用濕式、乾式或兩種 ... TCP9400(多晶矽乾蝕刻機)為科林研發之蝕刻機,. ,6” WAFERx2cassette /8”x1 casse...

濕式蝕刻機

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什麼是蝕刻(Etching)? - 國家奈米元件實驗室

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濕式蝕刻製程設備- 寶笙科技 - Boscien System

6” WAFERx2cassette /8”x1 cassette 複槽式手動傳輸WET BENCH · 8” WAFERx2cassette 複槽式自動傳輸WET BENCH · 晶片制程機台:SC1, SC2, BOE, SPM.

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蝕刻| Applied Materials

蝕刻. 蝕刻製程會移除晶圓表面的特定區域,以沉積其它材料。 「乾式」(電漿) 蝕刻是用於電路清晰度步驟,而「濕式」蝕刻(使用化學浴) 主要用於清潔晶圓。 乾式蝕刻是 ...

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濕式光阻剝除(Wet Stripping) - 廠商資訊- 台灣電子設備協會

電荷消除裝置(Charge Erase). 乾式蝕刻(Dry Etching). 濕式蝕刻(Wet Etching). 乾式光阻剝除(Dry Stripping). 濕式光阻剝除(Wet Stripping). 光罩蝕刻(Mask Etching).

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漢科系統科技股份有限公司| 廠商資訊- 台灣電子設備協會

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蝕刻技術(Etching) | Ansforce

以化學藥品與材料產生化學反應,將材料中不需要的部分溶解去除稱為「蝕刻(Etching)」,使用的方法有「濕式蝕刻」與「乾式蝕刻」兩種,這裡我們主要 ...

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佳宸科技Semtek - 晶圓濕式蝕刻機

設備能力 佳宸開發的專利公自轉噴灑式濕蝕刻設備,可改善傳統濕蝕機的現存缺點,如:蝕刻均勻性、側蝕及產能等問題。 特殊噴灑方式配合混酸及恆溫系統,藉由參數 ...

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