lam蝕刻機台
為了精確形成高難度的特徵結構，Lam Research的Flex®系列產品可為關鍵的蝕刻製程應用提供具差異化的技術以及應用導向的功能。針對某些應用，透過我們的Reliant®系統還 ... ,事實上，由於這些結構非常細微，蝕刻製程的進展正突破物理和化學定律的界限。 Lam Research的Kiyo®系列產品能以高生產力提供精密、穩定形成這些導體結構所需的優異效能 ...
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Etch - 電漿蝕刻產品
蝕刻製程還能創建高的柱狀特徵，例如，用在矽穿孔(TSV)中來連接晶片、以及用在微機電系統(MEMS)中。 Lam Research的電漿蝕刻系統可提供形成精確結構所需的高效能、高生產力 ... https://www.lamresearch.com FLEX系列產品
為了精確形成高難度的特徵結構，Lam Research的Flex®系列產品可為關鍵的蝕刻製程應用提供具差異化的技術以及應用導向的功能。針對某些應用，透過我們的Reliant®系統還 ... https://www.lamresearch.com KIYO系列產品
事實上，由於這些結構非常細微，蝕刻製程的進展正突破物理和化學定律的界限。 Lam Research的Kiyo®系列產品能以高生產力提供精密、穩定形成這些導體結構所需的優異效能 ... https://www.lamresearch.com RELIANT蝕刻產品
「超越摩爾定律」(“more than Moore”) 市場─ 包括MEMS、功率元件和物聯網(IoT) ─ 正推動低成本製造解決方案的需求，以滿足新的蝕刻製程要求。但是，要滿足這些要求仍有 ... https://www.lamresearch.com SYNDION 系列產品
用來去除晶圓深處的矽晶與其他材料的電漿蝕刻製程統稱為深矽晶蝕刻(deep silicon ... Lam Research的Syndion®蝕刻系列產品已為深矽晶蝕刻進行最佳化設計，可提供快速的 ... https://www.lamresearch.com VERSYS METAL 系列產品
此製程還能用來蝕穿金屬硬式罩幕(MHM)，這種硬式罩幕是用於形成傳統光阻罩幕無法處理的更細微結構，使特徵尺寸得以持續微縮。 為了實現這些關鍵的蝕刻步驟，Lam Research的 ... https://www.lamresearch.com 台積電聯電最可靠的夥伴-蝕刻設備商霸主-lam research
https://www.youtube.com 產品概述
為確保這些新的製程技術在新晶片準備投產時便已就緒，Lam的科學家和工程師需隨時掌握客戶的製造需求。我們領先市場的完備產品組合，包括薄膜沉積、電漿蝕刻、光阻去除和晶 ... https://www.lamresearch.com 第一章序論 - 國立交通大學機構典藏
由 顏嘉良 著作 · 2008 — 概念、電漿蝕刻、製程管制與批次控制、文獻回顧、以及機台簡介， ... TCP 9400SiE 多晶矽乾蝕刻機和Lam Station. Lam Station 機台監控軟體. LAM RESEARCH CO.,LTD. https://ir.nctu.edu.tw 美商科林研發(Lam Research)於乾蝕刻設備之關鍵技術與市場 ...
2021年8月24日 — 乾蝕刻主要與微影製程搭配，先透過微影技術定義光阻位置與結構， ... 度、開發時間、成本逐漸增加圖2 Lam乾蝕刻設備具高度智慧化圖3 電漿蝕刻設備因 ... https://www.itis.org.tw |