垂直式爐管水平式爐管

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4. 水平式爐管. 中心帶區. 平坦帶區. 距離. 溫度. 加熱線圈. 石英. 爐管. 氣流. 晶圓. Horizontal Furnace ... Vertical Furnace 垂直式爐管. 製程反應室. 加熱器. 晶圓. 塔架. ,特性目標. 水平式爐管. 垂直式爐管. 典型晶圓置放大. 小. 小. 200 晶圓/批. 100 晶圓/批. 無塵室空間. 小空間. 很大,有四個管. 很小(單一管). 平行式製程. 適於製程.

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水平式高溫爐(Horizontal Furnace). 在加熱製程中一般 .... 放置製程爐管呈垂直方向. • 佔地面積小 ... 爐管及反應室;晶圓裝載系統和排放系統所組. 成. • 垂直室高溫爐 ...

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Ch5 Oxidation and Diffusion (氧化與擴散) Overall View

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Thermal process

特性目標. 水平式爐管. 垂直式爐管. 典型晶圓置放大. 小. 小. 200 晶圓/批. 100 晶圓/批. 無塵室空間. 小空間. 很大,有四個管. 很小(單一管). 平行式製程. 適於製程.

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水平爐管儀器簡介

垂直爐管儀器簡介. 機台編號. 儀器名稱/ Class 100. 開放 等級. 放置位置. CF-T13. 垂直爐管. Vertical Furnace. B4. 奈米Class 100. 一、垂直爐管之規格及型號:.

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WAFER四大製程@ 這是我的部落格:: 隨意窩Xuite日誌

【1】原理- 在低壓(0.1~10torr)的高溫氧化爐管(oxidation furnace)中利用高純度 ... 【3】機台- 有分為水平式→5"wafer以下使用與垂直式→6"wafer以上使用(因為機台 ...

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第五章熱製程

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Chapter 5 加熱製程

水平式爐管. •加熱製程廣泛使用. •石英爐管外包陶瓷襯墊. •多爐管系統 ... 13. 晶圓裝載,水平式系統. 到排氣端. 製程爐管. 晶舟. 承載架. 製程. 氣體. 晶圓 ...

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投影片1

主要製造需要高電阻原始材料的分離式功率元件. ▫ 容易成長高電阻 .... 晶圓裝載,水平式系統. To. Exhaust. Process Tube ... 低維修成本. ▫ 放置製程爐管呈垂直方向 ...

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第一章緒論

一般半導體爐管可以分成水平式爐管與垂直式爐管,而目前不管是在台灣或. 在全世界 ... 式,藉著矽甲烷(SiH4)經過爐管加熱解離方式,來沈積製程上所需要的多晶矽層。

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高製程效率的水平式擴散爐管 - SVCS Process Innovation

高製程效率的水平式擴散爐管. SVCS的常壓式擴散爐管設計上結合多個製程生產能力與滿載生產系統(SVaFUR-FP). 的需求, 及為了小型研究及試產(SVaFUR-RD)所 ...

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