半導體contact via材料
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Edmond Becquerel,1820- 1891)發現半導體材料和電 ... 照，可以增加半導體材料的導電率，此即為半導體 ...... 層洞(contact window and via hole)，為了使後續金屬. https://www.ch.ntu.edu.tw 半導體製程分為poly及metal,請問poly包括哪些步驟| Yahoo奇摩知識+
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