contact hole半導體
metal remove. After poly-Si etch. After contact hole SiO ... film, high contact resistance, poor silicide formation. Ambient ... 半導體製程中常使用的溶劑. 溶劑. 普通名. , 製作poly gate當做電晶體的開關,接著製作contact,填入金屬稱為plug,一層 ... poly, metal, via layer, layer前的名字代表將產生半導體內的哪個單位).
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