spin etcher
2021年11月30日 — 半导体制造检查装置 >> 返回 您当前所在位置：首页 > 产品信息 > 半导体制造检查装置 > 正文. SPIN Etcher-枚叶式旋转湿法装置. ,—基板4 安置在旋轉頭上，該旋轉頭2固定在一可旋轉之軸部以固定速率旋轉。該厚度 ... TWI307923B 2009-03-21 Spin etcher with thickness measuring system. US5499733A ...
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