ubm蝕刻
(2) 經曝光、顯影RIE反應式離子蝕刻開出圖案。 ... 凸塊底層金屬（UBM）:提供連結及防止金屬墊與凸塊相互擴散，UBM主要有附著層、擴散阻障層及焊錫接著層等 ... ,論文名稱: 提升凸塊製程中金蝕刻液對鋁墊選擇比之研究 ... 凸塊製程的結構大致上可分為兩個部分，凸塊本體以及底層凸塊金屬層(UBM, Under Bump Metallurgy)。
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論文名稱: 提升凸塊製程中金蝕刻液對鋁墊選擇比之研究 ... 凸塊製程的結構大致上可分為兩個部分，凸塊本體以及底層凸塊金屬層(UBM, Under Bump Metallurgy)。 https://ndltd.ncl.edu.tw 弘塑科技股份有限公司
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