clear tone dark tone
tone就是光刻胶是正刻胶还是负刻胶的意思， clear是正的，即哪里有pattern，就etch哪里，如PO, AA , dark是反的，哪里没有pattern，etch哪里， ... , 為Bright field Dark tone如Oxide, poly layer,與Dark field bright tone如 metal, via layer.簡單的想法就是,以oxide為例,我們要將大部分的光阻都曝開
| 相關軟體 Tag&Rename 資訊 | |
|---|---|
 clear tone dark tone 相關參考資料
[心得] 半導體黃光製程工作內容分享- 精華區Tech_Job - 批踢踢實業坊
依據製程與layout的差別,我們將光罩分為Bright field Dark tone如Oxide, poly layer,與Dark field bright tone如metal, via layer.簡單的想法就是, ... https://www.ptt.cc 关于dark tone 和clear tone - Layout讨论区- Analog Layout（版图 ...
tone就是光刻胶是正刻胶还是负刻胶的意思， clear是正的，即哪里有pattern，就etch哪里，如PO, AA , dark是反的，哪里没有pattern，etch哪里， ... http://bbs.eetop.cn 轉錄-[心得] 半導體黃光製程工作內容分享Vol.1 - Vol. 3 | note
為Bright field Dark tone如Oxide, poly layer,與Dark field bright tone如 metal, via layer.簡單的想法就是,以oxide為例,我們要將大部分的光阻都曝開 http://jinraylee.blogspot.com 关于dark tone 和clear tone(页1) - Analog Layout（版图） - Layout讨论 ...
yjie62 发表于2012-4-11 14:32. 关于dark tone 和clear tone. 例如 dig area scrible line. PW dark clear. P1 dark clear. C1 clear dark 哪位大侠能解释下啊. http://bbs.eetop.cn Understanding Mask Tone 意思有到就好。 光罩有兩種，陰刻陽刻Dark ...
光罩有兩種，陰刻陽刻Dark-field masks(Positive tone) 要成像的地方會透光Clear-field masks(Bright field，Negative tone) 要成像的地方不透光光 ... https://plus.google.com mask的clear和dark是什么意思麻烦告诉我_百度知道
我所了解的： 1. 只要是mask上的图案，肯定不透光，因为那个地方是铬。 2. layout上某层为dark表示该处不透光(即暗)，所以对应到wafer上是保留该处PR(对正胶而言) ... https://zhidao.baidu.com 有關design rule，半導體製程| Yahoo奇摩知識+
以及mask tone..也就是你問題中的dark..clear...layer number會決定你在tool中.. 好比virtuoso或laker中使用的technology file...如果你畫過layout. https://tw.answers.yahoo.com Understanding Mask Tone - misc of soft engr
Understanding Mask Tone. 意思有到就好。 光罩有兩種，陰刻陽刻. Dark-field masks(Positive tone). 要成像的地方會透光. Clear-field masks(Bright ... http://miscofsoftengr.blogspot 黃光微影製程技術 - NTNU MNOEMS Lab. 國立台灣師範大學機電科技 ...
GDS圖檔送至光罩製作單位後，須註明圖案的範圍與邊界座標、最小線寬，並指定. 透光(Clear)與不透光(Dark)區域。Clear表示製作的光罩繪圖的區域為可透光，而. http://mems.mt.ntnu.edu.tw |