test element group中文

... 測試元(test element group,簡稱TEG)結構。 半導體製程技術的快速發展,已讓半導體元件可以做到奈米等級,線路也非常的微細,線路與元件之間可能非常接近,這表示 ... ,2005年4月4日 — ... 測試用,...

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... 測試元(test element group,簡稱TEG)結構。 半導體製程技術的快速發展,已讓半導體元件可以做到奈米等級,線路也非常的微細,線路與元件之間可能非常接近,這表示 ... ,2005年4月4日 — ... 測試用,我們稱之為參數測試「模組(Parametric Test Modules, PTM)」或「Test Element Group, TEG」。而參數測試模組中主要包含的元件有電晶體、二極 ...

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本發明係關於ㄧ種半導體裝置,其具有一測試元件組 元件(Test Element Group,TEG,以下稱為TEG元件) 其中包括複數之TEG元件;更具體而言本發明係關於 種技術,用以將上述TEG 元件定位於半導體晶圓上 > 。 同時,半導體生產時也逐漸加入TEG元件。

https://patentimages.storage.g

TW201628157A - 可進行在線疊對精度監測的測試元結構

... 測試元(test element group,簡稱TEG)結構。 半導體製程技術的快速發展,已讓半導體元件可以做到奈米等級,線路也非常的微細,線路與元件之間可能非常接近,這表示 ...

https://patents.google.com

半導體測試專欄:半導體製程的監視器參數測試讓製程更完善

2005年4月4日 — ... 測試用,我們稱之為參數測試「模組(Parametric Test Modules, PTM)」或「Test Element Group, TEG」。而參數測試模組中主要包含的元件有電晶體、二極 ...

https://www.mem.com.tw

建構Array製程電性檢查分析之不良預測模式

Array 的TEG(Test Element Group)電性量測值與Cell製程後的點燈不良項目Array NG等級判定有高度相關性。Array NG等級為4的面板將會報廢,所以若能夠預測準確, ...

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利用電信量測機作為檢查光罩重合精度替代方式之研究

由 邱啟明 著作 · 2012 — 本篇主要介紹一種檢查TFT LCD光罩重合精度的方法,利用光罩重合關係形成一種斷路或是通路作為開關並串接在面板中之Array TEG(Test Element Group)電性檢查圖案上,作為檢查 ...

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建立電性檢測模式於液晶面板品質評估之實證研究

由 王建智 著作 · 2013 — 並列摘要. In the LCD manufacturing process, the TEG (Test Element Group) electric measure value on Array's process and Array NG Rank are highly correlated in ...

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什麼是半導體測試系統(STS)? - NI

NI 半導體測試系統(STS) 是一款既有ATE,可針對最新混合訊號與RF 半導體裝置進行快速且極具效益的生產測試。

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