pecvd鍍膜
... 沈積（ALD）; 射頻電漿化學沈積（PECVD）; 微波電漿化學沈積（MPCVD） ... 原子級膜厚控制等優點，因此可用於超薄高介電材料鍍膜、半導體奈米製程技術 ... ,等离子增强化学气相沉积. PECVD. 允许低温镀膜; 适宜塑料等温度敏感性基材; 可用于复杂元件镀膜.
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等离子增强化学气相沉积. PECVD. 允许低温镀膜; 适宜塑料等温度敏感性基材; 可用于复杂元件镀膜. https://www.fhr.biz PVD鍍膜技術 - Junsun Tech
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