pecvd中文
PECVD ( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ) 是指等离子体增强化学的 ... 中文名: 等离子体增强化学气相沉积法; 外文名: Plasma Enhanced Chemical ... ,遠距電漿增強化學氣相沉積（Remote plasma-enhanced CVD，RPECVD）：和PECVD技術很相近的技術。但晶圓不直接放在電漿放電的區域，反而放在距離電漿遠 ...
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 pecvd中文 相關參考資料
電漿化學氣相沉積(PECVD) | Ansforce
電漿化學氣相沉積(PECVD)在成長薄膜的過程中有化學反應發生，屬於「化學氣相沉積(CVD)」，由於只需要高真空，而且蒸鍍的金屬可以大量快速地在基板上沉積， ... https://www.ansforce.com PECVD_百度百科
PECVD ( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ) 是指等离子体增强化学的 ... 中文名: 等离子体增强化学气相沉积法; 外文名: Plasma Enhanced Chemical ... https://baike.baidu.com 化學氣相沉積- 維基百科，自由的百科全書 - Wikipedia
遠距電漿增強化學氣相沉積（Remote plasma-enhanced CVD，RPECVD）：和PECVD技術很相近的技術。但晶圓不直接放在電漿放電的區域，反而放在距離電漿遠 ... https://zh.wikipedia.org 化学气相沉积- 维基百科，自由的百科全书
化學氣相沉積（英语：chemical vapor deposition，簡稱CVD）是一種用來產生純度高、性能好的固態 ... PECVD技术允许在低温的环境下成长，这是半导体制造中广泛使用PECVD的最重要原因。 远距电浆增强化学气相沉积（Remote plasma-enhanced ... https://zh.wikipedia.org (急件)關於電漿PECVD和RIE的原理? 贈20點| Yahoo奇摩知識+
請問各位大大!! 1.PECVD 和RIE電漿原理為何? 2.PECVD 和PIE 的中文意思為何?例如p代表什麼等等… 請各位大大救救我!!越詳細越好^^謝謝 ... https://tw.answers.yahoo.com PECVD - 交通大學奈米中心
中文名稱, 電漿輔助化學氣相沉積系統, 英文名稱. Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition(PECVD). 儀器廠牌型號. Samco. 購置年限. 1998年7月. 放置地點. http://www.nfc.nctu.edu.tw 應用材料公司PECVD 5.7 | Applied Materials
應用材料公司PECVD（電漿化學氣相沉積）5.7系統可以在5.7平方公尺的玻璃基板上沉積矽薄膜發電層，製造出全世界最大的薄膜太陽能電池。PECVD 5.7系統源自 ... http://www.appliedmaterials.co Chapter 10 化學氣相沉積與介電質薄膜
SiCl3H (三氯矽烷；TCS). SiCl4 (四氯矽烷；Siltet). LPCVD. SiH4, O2. SiO2 (玻璃). PECVD SiH4, N2O. 介電質. PECVD Si(OC2H5)4 (四乙氧基矽烷，TEOS), O2. http://www.isu.edu.tw 鍍膜腔體電漿分佈特性研究 - 國立臺北科技大學機構典藏平台
中文關鍵詞：, 鍍膜製程 ； 計算流體力學 ； 電漿輔助化學氣相沉積 ... Vapor Deposition，PECVD）鍍膜製程為現今半導體產業中電子面板的重要製程之一，為了使生產 ... https://ir.lib.ntut.edu.tw 新人训练-PECVD_图文_百度文库
新人训练-PECVD - 新人訓練-PECVD 人訓練 PECVD Process 目的使用電漿化學沉積氮化矽膜 ... + 12H2(g) (CVD) PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 電漿輔助化學氣相沉積) ... 德国PECVD设备中文说明书. https://wenku.baidu.com |