mems壓力感測器原理
壓力感測器是所有微機電系統(Micro Electro-Mechanical System；. MEMS)技術中 ... 文中將依序於第二章介紹矽質壓力感測器之壓力感測原理、元件型式. 規格與專有 ... ,便可知壓電元件應用範圍極廣，而我們所做的壓力感測器便是機∼電轉換型的. 應用。 ... 感測器. 壓力量測原理及方法有許多（見表2.5）， 應用於各個領域或特別需求，.
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