dhf溶液
一、 物品與廠商資料. 物品名稱：. 氫氟酸稀釋溶液(DHF 2-1 ~ 200-1). 物品編號：. —. 建議用途及限制使用： 酸性清洗劑。半導體製程之氧化層蝕刻液。 製造商或供應商 ... ,晶圓表面的微粗糙一般來自於潔淨製程中SC-1的製程，並與清洗溶液中氨水及雙氧水的混和比例、製程溫度及洗淨時間有直接的關聯。 圖1、晶圓製程中五大污染物( ...
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