ekc溶液
在现有技术中，通常采用EKC来清除晶圆表面的聚合物和残留的光刻胶，而 ... 所述清洗液可是业内熟知的EKC溶液，所谓EKC溶液是指杜邦公司开发的一款专门用于 ... ,本发明提供了一种半导体晶圆的清洗方法，至少包含如下步骤：提供一晶圆，所述晶圆上具有刻蚀残余物；采用EKC溶液清洗所述晶圆，去除所述晶圆上的刻蚀残余物； ...
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時機：幾乎所有製程之前或後，. 份量約佔所有製程步驟的30%. • 對資源的衝擊：. – 完成一片8 吋晶圓平均耗費2000. 加侖（9000 公升，9 m3）純水. 加侖（9000 公升，9 ... http://web.cjcu.edu.tw |