descum process中文
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High temperature ashing, or stripping, is performed to remove as much photo resist as possible, while the "descum" process is used to remove residual photo ... https://en.wikipedia.org UVAT Descum Plasma
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乾膜光阻去除(PR stripping)製程一般使用Wet Bench批次設備，如圖2所示為弘塑科技所製造之300mm wafer全自動Wet Bench設備，前兩個製程槽(Process Tank) ... http://www.gptc.com.tw 半導體制造、Fab以及Silicon Processing的基本知識- 頁3
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Materials Processing, John Wiley & Sons, 1994. 4. M. Konuma, Film Deposition by Plasma Techniques, Springer-Verlag, 1992. 5. 洪昭南, 電漿反應器, 化工技術, ... http://ebooks.lib.ntu.edu.tw |