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DC & RF 濺鍍系統. 功能. 沉積金屬薄膜與介電薄膜。本實驗室目前有: Au、Pt、. Cu、Al、Ti、Cr、Ni、ITO、SiO2、Si3N4 等靶材，Au. 與Pt 靶需指導教授同意方可使用。 ,本研究利用反應性DC/RF磁控共濺鍍法，在氬氣與反應性氣體硫化氫的環境下共濺鍍銀銦鋅靶，沈積AgIn5S8-ZnS之可見光光觸媒薄膜於載玻片、ITO玻璃之基材上。
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