boe成份
今天很碰巧讀到一些與BOE wet etchingSiO2相關的資訊，與本文相關，在這邊與大家分享1. BOE指的只有HF: NH4H，有其他成分的話比方說diluted HF那些是誤用2. 市受(商業化)的BOE中HF與NH4H之比有5:1, 6:1, 7:1, 10:1, 20:1, 30:1, 50:1 以及100:1， 但最普遍的是10:1 3. BOE對SiO2 的蝕刻速率與SiO2 的製成 ... ,2、 氧化矽蝕刻槽〈圖3〉〈此三槽不是BOE〉. 組成：H2O：HF = 10：1. 用途：氧化矽蝕刻用. 使用條件：. 去除硼玻璃(圖3-1)去含硼氧化矽專用10：1 HF槽專門用來蝕刻含硼成份的氧化矽，如: 經硼擴散爐管所生成之氧化矽〈硼玻璃〉。 去除磷玻璃(圖3-2)去含磷氧化矽專用10：1 HF 槽專門用來蝕刻含磷成份的氧化矽，如：. 經磷擴散爐管所生成 ...
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BOE ETCHANTS SBOE ETCHANTS 二氧化矽蝕刻液
皮膚接觸:避免直接與該化學品接觸,必要時需戴防滲手套。 儘速用緩和流動的溫水沖洗患部分鐘以. Page 2. 物質安全資料表. 二氧化矽蝕刻液. 上。 將受傷處潰於冰的. 水溶液(: )或冰的. * 若無法直. 接浸泡,可使用鋼帶,每兩分鐘更換一次。 若敏感組織(唇或口)被燒傷,可數%的葡萄. 糖酸鈣軟膠,立即就醫。 眼睛接觸: 立即撐開眼皮,用緩和 ... http://www.taimax.com.tw Re: [問題] BOE蝕刻4um圓的二氧化矽- 看板NEMS - 批踢踢實業坊
今天很碰巧讀到一些與BOE wet etchingSiO2相關的資訊，與本文相關，在這邊與大家分享1. BOE指的只有HF: NH4H，有其他成分的話比方說diluted HF那些是誤用2. 市受(商業化)的BOE中HF與NH4H之比有5:1, 6:1, 7:1, 10:1, 20:1, 30:1, 50:1 以及100:1， 但最普遍的是10:1 3. BOE對SiO2 的蝕刻速率與SiO2 的... https://www.ptt.cc 國立清華大學奈微與材料科技中心 - 奈材中心
2、 氧化矽蝕刻槽〈圖3〉〈此三槽不是BOE〉. 組成：H2O：HF = 10：1. 用途：氧化矽蝕刻用. 使用條件：. 去除硼玻璃(圖3-1)去含硼氧化矽專用10：1 HF槽專門用來蝕刻含硼成份的氧化矽，如: 經硼擴散爐管所生成之氧化矽〈硼玻璃〉。 去除磷玻璃(圖3-2)去含磷氧化矽專用10：1 HF 槽專門用來蝕刻含磷成份的氧化矽，如：. 經磷擴散爐管所生成 ... http://cnmm.web.nthu.edu.tw 蝕刻液
化學品名稱：蝕刻液( 酸洗液) 6:1 (BUFFERED OXIDE ETCH ( BOE 6:1)). 一、 化學品與廠商資料. 其他名稱： UR-Reagent BOE. 建議用途及限制 ... 其他危害：--. 中英文名稱： 蝕刻劑BUFFERED OXIDE ETCH. 三、成份辨識資料. 純物質：. 同義名稱：--. 化學文摘社登記號碼(CAS No.)：--. 危害成份(成份百分比)... http://www.nfc.nctu.edu.tw |