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CENTRIS™ SYM3™ 蝕刻. 隨著半導體持續進行微縮,對晶片製造的精密度和均勻度要求也越來越嚴格,因而推動了過去十年來矽蝕刻反應室的首次全面重新設計。 ,在新的200mm 技術上,應用材料公司Centura 蝕刻反應器解決了以下難題...

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