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由 黃閔顯 著作 · 2006 · 被引用 1 次 — 半導體製程中最小線寬一般稱之為臨界尺寸,在半導體產業量產上對 ... Accuracy, AA)的檢驗步驟,將CD 與AA 量測值傳送至特定伺服器中,再與. ,2009年3月14...

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由 黃閔顯 著作 · 2006 · 被引用 1 次 — 半導體製程中最小線寬一般稱之為臨界尺寸,在半導體產業量產上對 ... Accuracy, AA)的檢驗步驟,將CD 與AA 量測值傳送至特定伺服器中,再與. ,2009年3月14日 — 因為是work in progress,還請大家多多忍耐。 AA Active Area. ISSG In Situ Steam Generation. RIE Reactive Ion Etching. ARC Anti-Reflective Coating.

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半導體製程名詞縮寫- physical contact - udn部落格

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