半導體cd量測
可進行待測物之關鍵尺寸(CD)、Overlay(OVL)及Thickness等量測需求; 垂直與水平軸向掃描範圍大，適合各種 ... (本產品前身為Chroma 7505 半導體先進封裝光學量測系統) ... ,因此隨著半導體技術的進步，量測上的需求，發展出基於散射測量法(Scatterometry) 的光學參數測量法成為新一代的CD測量方法。 目前控制PEB溫度的關鍵在於熱板的控溫，但是 ...
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20140818 檢測10nm以下半導體CD-SEM量測技術邁大步
2014年8月18日 — 半導體進入10奈米以下技術節點或三維(3D)結構時，將面臨嚴重的導孔偏移問題，所幸，設備商已研發出具備更高影像解析能力的微距量測掃描式電子 ... https://spiderman186.pixnet.ne 3D晶圓量測系統
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