電 漿 蝕刻機
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蝕刻通常是利用腐蝕性物質移除部份薄膜材料，以達到產生所需圖案之技術。一般將蝕刻分為濕式蝕刻和乾式蝕刻，而乾式蝕刻（Dry Etching）又稱為電漿蝕刻（ ... https://researchoutput.ncku.ed 感應耦合電漿蝕刻系統多片機- 科榮股份有限公司
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雖然宇宙空間充滿電漿( 圖1)[1]，而且在現代工業生. 產中也漸漸地廣泛應用，但大多數人對「電漿」可能顯 ... 設計系統，均是未來蝕刻機趨勢。多腔設計可以避免相. http://www.ndl.org.tw 電漿蝕刻機 - 聚昌科技
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