電漿 CVD
本申請是有關於一種電漿化學氣相沈積(CVD)裝置，此裝置具有用於遠程激活(remote activation)清潔氣體的遠程電漿產生器。更具體而言，本申請是有關於一種新的簇射板，此簇射 ... ,電漿增強化學氣相沉積法（Plasma-Enhanced CVD，PECVD）：利用電漿增加前驅物的反應速率。PECVD技術允許在低溫的環境下成長，這是半導體製造中廣泛使用PECVD的最重要 ...
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 電漿 CVD 相關參考資料
Technology: 高密度電漿化學氣相沉積（HDP-CVD）
Reliant 系統 化學氣相沉積（CVD） 脈衝雷射沉積（PLD） 電漿輔助化學氣相沉積（PECVD） 高密度電漿化學氣相沉積（HDP-CVD）. 我們的Reliant 沉積產品可實現特殊製程 ... https://www.lamresearch.com TWI434334B - 電漿cvd裝置
本申請是有關於一種電漿化學氣相沈積(CVD)裝置，此裝置具有用於遠程激活(remote activation)清潔氣體的遠程電漿產生器。更具體而言，本申請是有關於一種新的簇射板，此簇射 ... https://patents.google.com 化學氣相沉積- 維基百科，自由的百科全書
電漿增強化學氣相沉積法（Plasma-Enhanced CVD，PECVD）：利用電漿增加前驅物的反應速率。PECVD技術允許在低溫的環境下成長，這是半導體製造中廣泛使用PECVD的最重要 ... https://zh.wikipedia.org 第五章電漿基礎原理
• 電漿是由中性原子或分子、電子(-）和正電離. 子所 ... 高密度電漿（HDP）源的游離率就高. 得多，大約1%. 4. （太陽 ... • 對蝕刻製程和CVD來說非常重要. 8. 電漿蝕刻. • CF. http://homepage.ntu.edu.tw 電漿CVD法沉積半導性薄膜及其在化學感測器應用
由 李明旭 著作 · 2006 — 本研究也以電漿沉積及表面接枝聚合來改質無機基材的表面結構與特性，如有機性質、結構組成、親疏水性、官能基特性、及導電性等。 ... 有機共軛半導性高分子近年來有愈來愈多 ... https://www.airitilibrary.com 電漿化學氣相沉積(PECVD)
電漿化學氣相沉積(PECVD)在成長薄膜的過程中有化學反應發生，屬於「化學氣相沉積(CVD)」，由於只需要高真空，而且蒸鍍的金屬可以大量快速地在基板上沉積，成本較低適合 ... https://www.ansforce.com 電漿輔助化學氣相沉積法於矽薄膜太陽能電池的應用
本文針對電漿輔助化學氣相沉積在太陽. 能產業上的應用作一概略性的介紹。首先，對電漿物理、PECVD 設備及製程原理加以闡述。第二部分簡. 介不同的電漿源及不使用 ... https://www.tiri.narl.org.tw 電漿輔助式化學氣相沉積設備
電漿輔助式化學氣相沉積（PECVD）是一種使用電漿的化學氣相沉積(CVD)技術，可為沉積反應提供一些能量。與傳統的CVD方法相比，PECVD可以在較低的溫度下沉積各種薄膜且不 ... https://www.syskey.com.tw 高密度電漿化學氣相沉積系統
高密度電漿化學氣相沉積系統 · 薄膜沉積 (SiO2，Si3N4，Si，Ge，SiGe，SiGeO，SiGeN) · 可通入氣體 SiH4、N2O、NH3、CF4、GeH4、O2、N · 製程溫度最高可至300℃ · 真空度( ... https://khvic.nsysu.edu.tw 高密度電漿輔助化學氣相沉積系統(Inductively Coupled Plasma ...
2021年8月10日 — 高密度電漿輔助化學氣相沉積系統(Inductively Coupled Plasma-Chemical Vapor Deposition, ICP-CVD) · 1. 可使用基板最大尺寸: 250*250 (mm)。 · 2. 腔 ... https://cptft.mcut.edu.tw |