鈦金屬蝕刻
鈦(Ti)、鈦鎢(TiW)和鈦鎢氮(TiW(N）)等UBM金屬，具有雙重特性：可作為UBM之 ... 目前銅柱凸塊(Copper Pillar Bumping)之TiW及Ti蝕刻(圖1)，已有多家先進凸塊構裝 ... ,在UBM蚀刻制程中，根据不同的UBM金属层种类和厚度、蚀刻液之化学特性、凸块 ... 微电子工业上常用的钛蚀刻液，大部份采用以氢氟酸为基础的溶液，此种蚀刻液不 ...
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91.5% H3PO4 boiling at 130-180°C. Al (鋁金屬). HNO3 : CH3COOH : H3PO4 : H2O = 4 : 3.5 : 73 : 19.5. Etch Bias. Titanium (鈦金屬). H2O2 + H2SO4. W (鎢金屬). http://www.ndl.org.tw 蝕刻製程 - 密特(MIT)
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