軟烤英文

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軟烤英文

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軟烤(預烤): 90 ~ 100 度C ~ 30 min <~~使光阻揮發變硬一點o. 3.曝光顯像. 4.硬烤: 200 度C ~ 30 min <~~把剩下的揮發氣體完全揮發使其更抗腐蝕,但不可. 烤太久 ...

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〔美國〕烤軟餅。英文 - 查查在線詞典

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光刻- 維基百科,自由的百科全書 - Wikipedia

3.1 基板的準備; 3.2 光阻的塗抹; 3.3 軟烤; 3.4 曝光; 3.5 顯影; 3.6 硬烤; 3.7 蝕刻或離子注入 ... 完成光阻的塗抹之後,需要進行軟烤操作,這一步驟也被稱為前烘。

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國立中興大學-光電半導體製程中心

英文名稱. OAI-500. 儀器經費來源. 購入日期. 2002-12-31. 儀器位置. 黃光室 ... 軟烤:或稱曝光前烘烤,主要用來將光阻殘留溶劑去除,增加光阻對晶片之附著力。

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软烤饼英文_软烤饼英语怎么说_翻译 - 查查在线词典

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雙面光罩對準曝光儀

設計工具:元件或電路設計完成後,即可利用OPUS軟. 體或. 做佈局( ... Lithography. 軟烤(Soft Bake)(或稱曝光前烘烤(Pre- ... 英文名稱:Double Side Mask Aligner.

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黃光微影(Photolithography) | Ansforce

軟烤. Soft baking. 光阻塗佈機. Spin coater. 硬烤. Hard baking. 光學曝光系統. 化學顯影. 顯影液. 蝕刻液. 去光阻液. 光阻. PR. Photo Resistor. 正光阻. 負光阻. 黃光區.

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