投影式曝光
投影式曝光法. 與前面兩者最基本的差別，在於光罩並沒有與晶圓接觸或接近，而是以類似投影機將影片上的文字或圖形，以一定尺寸比例，投射到布幕上的方式來 ... ,投影式曝光法中光罩並沒有與晶片接. 觸，而是以類似投影機將投影片上的文. 字或圖形，投射到牆上進行光罩圖案的. 轉移。 ◇優點：不會損害光罩上的圖案，且圖案.
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投影曝光技術［優志旺股份有限公司］ - USHIO
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投影式曝光法. 與前面兩者最基本的差別，在於光罩並沒有與晶圓接觸或接近，而是以類似投影機將影片上的文字或圖形，以一定尺寸比例，投射到布幕上的方式來 ... http://mems.mt.ntnu.edu.tw 微影
投影式曝光法中光罩並沒有與晶片接. 觸，而是以類似投影機將投影片上的文. 字或圖形，投射到牆上進行光罩圖案的. 轉移。 ◇優點：不會損害光罩上的圖案，且圖案. http://waoffice.ee.kuas.edu.tw 第一章緒論 - 國立交通大學機構典藏
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