硝酸矽

Mix Acids Etch、HNO3–HF–HAC 混合液體水溶液. 危害物質成分之中英文名稱. 濃度範圍(成分百分比). 危害物質分類/圖示. 硝酸Nitric Acid. 15 ~ 60 %. 腐蝕性物質. ,SC-1(APM), 利...

硝酸矽

Mix Acids Etch、HNO3–HF–HAC 混合液體水溶液. 危害物質成分之中英文名稱. 濃度範圍(成分百分比). 危害物質分類/圖示. 硝酸Nitric Acid. 15 ~ 60 %. 腐蝕性物質. ,SC-1(APM), 利用氨水之弱鹼性活化矽晶圓及微粒子表面,使晶圓表面與微粒子間 ... 矽層蝕刻 (Silicon Etching), 在目前製程上多使用硝酸(HNO3)、氫氟酸(HF)及 ...

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硝酸矽 相關參考資料
Chapter 9 蝕刻

43. 溼式蝕刻:矽. ‧矽蝕刻通常用硝酸(HNO. 3. )和氫氟酸(HF)的. 混合液. ‧硝酸將矽氧化,接著氫氟酸將二氧化矽溶. 解. Si + 2HNO. 3. + 6HF → H. 2. SiF. 6. + 2HNO. 2.

http://www.isu.edu.tw

MAE ETCHANTS 多晶矽蝕刻液 - 台灣波律股份有限公司

Mix Acids Etch、HNO3–HF–HAC 混合液體水溶液. 危害物質成分之中英文名稱. 濃度範圍(成分百分比). 危害物質分類/圖示. 硝酸Nitric Acid. 15 ~ 60 %. 腐蝕性物質.

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RCA clean 製程 - 弘塑科技股份有限公司

SC-1(APM), 利用氨水之弱鹼性活化矽晶圓及微粒子表面,使晶圓表面與微粒子間 ... 矽層蝕刻 (Silicon Etching), 在目前製程上多使用硝酸(HNO3)、氫氟酸(HF)及 ...

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一氧化矽- 維基百科,自由的百科全書 - Wikipedia

一氧化矽不太穩定,在空氣中會氧化成二氧化矽,僅在高於1200℃才穩定。一氧化矽能溶於氫氟酸和硝酸的混合酸,其中並放出四氟化矽。一般它可由二氧化矽在真空 ...

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半導體製程及原理

半導體各種產品即依上述基本原理,就不同工業需求使用矽晶圓、光阻劑、顯影液、 ..... 最常使用的侵蝕液為硝酸(HNO3)及氫氟酸(HF)的水溶液或是醋酸(CH3COOH) ...

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多晶矽製絨技術的介紹 - 材料世界網

在太陽能市場中,矽晶太陽電池擁有超過九成的市占率,其中又有將近64%為 .... 陷和表面製絨,藉由控制氫氟酸與硝酸的. 濃度,可以控制蝕刻速率,其中硝酸的濃.

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氫氟酸,醋酸,硝酸的混合| Yahoo奇摩知識+

在半導體製程中,單晶矽與複晶矽的蝕刻通常利用硝酸與氫氟酸的混合液來進行。此反應是利用硝酸將矽表面氧化成二氧化矽,再利用氫氟酸將形成 ...

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矽 - 教育部異體字字典

字號. A02824. 正字. 【矽】石-03-08. 音讀. ㄒ|ˋ. 釋義. 着(silicon,Si)化學元素。原子序14。非金屬元素之一。 溶於鹼、硝酸與氫氟酸的混合液中,但不溶於水、硝酸及 ...

http://dict2.variants.moe.edu.

硝酸- 維基百科,自由的百科全書 - Wikipedia

硝酸(分子式:HNO3)是一種強酸,其水溶液俗稱硝鏹水。純硝酸為無色液體,沸點83℃,在-42℃時凝結為無色晶體,與水混溶,有強氧化性和腐蝕性。其不同濃度 ...

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硝酸釕(III) - 維基百科,自由的百科全書 - Wikipedia

硝酸釕(III)是一種無機化合物,化學式為Ru(NO3)3。它可用於製備釕碳催化劑。硝酸釕負載在二氧化矽上之後,和一氧化碳反應,根據反應條件的不同,會 ...

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