shallow trench isolation半導體
... 而这个侧向的反应速度与SiN的应力有关系，按照Wolf的半导体圣经里的 ... STI的全称是浅沟槽隔离(Shallow Trench Isolation)，创意来源于Fully ...,在同一半導體基板上製做複數個元件時，元件之間不應造成相互的 ... 而受到不同的STI(shallow Trench Isolation)機械應力,1 ~8 p5 C- A" u' ~3 M
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