sc1 sc2 clean

Thickness of Si after the SC1 clean is plotted vs. the initial Si thickness. Si thinner than 25 ... surface. The SC2 cle...

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Thickness of Si after the SC1 clean is plotted vs. the initial Si thickness. Si thinner than 25 ... surface. The SC2 clean, which is a mixture of HCl and the same oxi-. ,RCA 濕式清潔法使用於兩種不同化學配方溶液，也. 就是標準清潔液1(SC-1)及標準清潔液2(SC-2)。 標準清潔液1(standard clean 1)為NH4OH/H2O2/H2O.

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sc1 sc2 clean 相關參考資料
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(PDF) Etching of Silicon by the RCA Standard Clean 1

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https://www.researchgate.net

最常使用之晶圓表面清潔步驟為濕式化學法

RCA 濕式清潔法使用於兩種不同化學配方溶液，也. 就是標準清潔液1(SC-1)及標準清潔液2(SC-2)。 標準清潔液1(standard clean 1)為NH4OH/H2O2/H2O.

http://www.ndl.org.tw

半導體晶圓廠的清潔劑 - 三聯科技股份有限公司

標準化的第一步清洗（SC1）使. 用APM以移除微粒子，而標準化的第二步清洗. （SC2）則採用HPM以移除金屬物。 ... Piranha Clean〈SPM；H2SO4+H2O2於120∼.

http://www.sanlien.com.tw