plasma induced damage原理
操作原理已十分清楚：the mobile plasma e-, responding to the instantaneous ...... Plasma induced damage. ▫ 由電漿誘發的damage 特別是在RIE中發生。當基材加 ... ,We have investigated the impact of plasma-induced damage on the ... Plasma damage mainly caused nonuniform distribution of the threshold voltages in the ...
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Chap9 蝕刻(Etching)
◇Damage Removal after Dry Etching. ◇Polymer Removal ... 乾式蝕刻的原理 ... A plasma is a collection of free charged particles moving in random directions ... http://waoffice.ee.kuas.edu.tw plasma
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We have investigated the impact of plasma-induced damage on the ... Plasma damage mainly caused nonuniform distribution of the threshold voltages in the ... https://ir.nctu.edu.tw Untitled - 光電科技工業協進會
乾蝕刻製程原理及機台簡介 ... 電漿(thermal plasma)，如圖2所示，. 當電漿中電子與離子 ..... •Glass to glass (Global). •Contamination. •Damage. •Texture. •Undercut. http://www.pida.org.tw 利用電荷幫浦分佈法研究深次微米N 型MOS 元件電漿製程傷害之可靠性 ...
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