ndl i line stepper
本文件主要是介紹使用NDL I-line stepper 破片曝光平. 台的使用規範，以協助使用者了解下線的條件限制、. 破片尺寸、光罩layout、曝光流程等規則，期使達成. ,L05C I-line stepper 破片線曝光條件與製程規格. 破片種類: 厚度< 720 um 之Si、化合物半導體、glass等. 破片尺寸: 25*25 (標準) 、 12*12、20*20、40*40 mm2 、2”、4 ...
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