megasonic原理
2011年1月28日 — TFT-LCD 製程玻璃基板洗淨原理介紹Nixon? ... 去除方式以輕微蝕刻搭配超音波(Megasonic)震盪的方式，將微粒自基板表面分開，然後保持被分離 ... ,... 接近或在1000kHz(1MHz)以上時，經常被稱為百萬赫茲超音波(Megasonic)。 ... 根據於此揭露之原理而建構的本發明之實施例可產生與增加靠近基板的短暫壽命之 ...
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2015年12月21日 — CMP设备兆声清洗原理及应用. The Megasonic Cleaning Theory and its Application in the Post CMP Cleaning. 史霄 ； 中国电子科技集团公司第 ... https://www.airitilibrary.com TFT-LCD 制程玻璃基板洗净原理介绍++_百度文库
2011年1月28日 — TFT-LCD 製程玻璃基板洗淨原理介紹Nixon? ... 去除方式以輕微蝕刻搭配超音波(Megasonic)震盪的方式，將微粒自基板表面分開，然後保持被分離 ... https://wenku.baidu.com TWI473668B - 改良之超音波清洗方法與設備- Google Patents
... 接近或在1000kHz(1MHz)以上時，經常被稱為百萬赫茲超音波(Megasonic)。 ... 根據於此揭露之原理而建構的本發明之實施例可產生與增加靠近基板的短暫壽命之 ... https://patents.google.com Untitled Document
提昇清洗溶液溫度，可增加吸附微塵的動能而脫離晶圓表面。 配合百萬週波超音波震盪（megasonic cleaning），可破壞微塵與晶圓表面間之附著力，防止塵粒的 ... http://mems.mt.ntnu.edu.tw 中大機構典藏-NCU Institutional Repository-博碩士論文 ...
2016年12月22日 — (Particulate Contamination Removal from the Wafer Surface Using Chemical Solution with Megasonic Waves). 相關論文 ... 2.1溶液工作原理8 http://ir.lib.ncu.edu.tw 兆声清洗原理简介 - 美国ABM光刻机、CEE匀胶热板显影设备 ...
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2020年6月1日 — 超音波洗淨作用是以超過人類聽覺聲頻以上的波動， 在液體中傳導推動介質的作用， 使液體內的分子間產生無數微小真空氣泡， 造成空穴 ... http://lab666.pixnet.net |