local scrubber種類
Local Scrubber)由設備部門負責初級處理完成到某個階段後,廠. 務排氣系統才 .... 大宗氣體供應系統氣體種類包含CDA、 GN2、AN2、AO2、 AAAr、.,抽真空泵浦: Dry pump、Turbo pump. ❖ 尾氣排放物種: C, N, O, Cl, F,. ❖ 尾氣排放有無獨立之Local Scrubber: 水洗式, 燃燒箱. ❖ 冷卻系統種類: He, 廠務供應冷卻水.
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抽真空泵浦: Dry pump、Turbo pump. ❖ 尾氣排放物種: C, N, O, Cl, F,. ❖ 尾氣排放有無獨立之Local Scrubber: 水洗式, 燃燒箱. ❖ 冷卻系統種類: He, 廠務供應冷卻水. http://www.ndl.org.tw 第三章製程尾氣處理研究實驗設備3.1 製程尾氣處理設備Local scrubber
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