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局部換氣local ventilation: 控制有害物產生區 ... ventilation)與局部排氣(local exhaust)兩種工. 程，其目的 ..... Fume Exhaust、HVAC、Gas Cabinet、Local Scrubber). https://myweb.ntut.edu.tw 高科技產業Local scrubber 廢水回收系統之案例探討__臺灣博碩士論文 ...
摘要本研究以Local Scrubber水回收再利用系統經過了在台中某半導體廠的現場 ... 論文名稱: 高科技產業Local scrubber 廢水回收系統之案例探討 ... 語文別: 中文. https://ndltd.ncl.edu.tw :設備工程師:工作內容跟Pump和Scrubber有關嗎?急| Yahoo奇摩知識+
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摘要. 在半導體廠製程中含有矽(Si)；製程過程中. 會有含矽(Si)的反應物，製程的廢氣會經過燃燒器. (Burn local scrubber)處理，處理後會產生細小. 白色氧化物(SiO2)， ... http://www.asip.org.tw 濕式洗滌塔回收水系統(LSR)改善與應用
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