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CN103966605A - 一种LED芯片GaP层用刻蚀液及刻蚀方法 ...

[0005] 中国专利申请号:201010181217.9,公开了一份名称为具有表面双层粗化的四元系垂直发光二极管及其制备方法的专利文件,其中指出湿法蚀刻采用的蚀刻液 ...

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