end point detection原理
由 孫國郎 著作 · 2005 · 被引用 1 次 — 終點偵測技術 ； 化學機械研磨 ； Endpoint Detection ； CMP ... 本篇論文係針對CMP現有的終點偵測系統,在原理,設計及應用分別加以探究,同時對於繼之而起 ... ,乾式蝕刻的原理. ◇乾式蝕刻是以電漿，而非濕式的溶液，來進行薄膜蝕刻的. 一種技術。 ◇乾蝕刻 ... End-Point Detection. Mass. Spectrometry. Pressure. Change.
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 end point detection原理 相關參考資料
6-1 Introduction to End-Point Detection (端點偵測介紹)
The goal of end-point detection (EPD for short) is to identify the important part of an audio segment for further processing. Hence EPD is also known as "voice ... http://mirlab.org Airiti Library華藝線上圖書館_化學機械研磨(CMP)應用在不同 ...
由 孫國郎 著作 · 2005 · 被引用 1 次 — 終點偵測技術 ； 化學機械研磨 ； Endpoint Detection ； CMP ... 本篇論文係針對CMP現有的終點偵測系統,在原理,設計及應用分別加以探究,同時對於繼之而起 ... https://www.airitilibrary.com Chap9 蝕刻(Etching)
乾式蝕刻的原理. ◇乾式蝕刻是以電漿，而非濕式的溶液，來進行薄膜蝕刻的. 一種技術。 ◇乾蝕刻 ... End-Point Detection. Mass. Spectrometry. Pressure. Change. http://140.127.114.187 CMP化學機械研磨|| 研磨終點偵測方式EPD (End Point ...
2019年5月24日 — CMP化學機械研磨|| 研磨終點偵測方式EPD (End Point Detection) ... 渦電流的EPD偵測原理主要是用磁場的感應電流，機台會給wafer一個磁場， ... https://carl5202002.pixnet.net TWI556340B - End point detection device and method for ...
因此，精確判定電漿蝕刻製程終點(endpoint)以避免因蝕刻不足或蝕刻過度導致元 ... 本發明的技術原理為首先以一定時間間隔採集即時光信號強度從而獲得多個即時 ... https://patents.google.com 「蝕刻升級篇」剖析干蝕刻和濕蝕刻的作用、製程及其原理- 每 ...
2017年12月8日 — EPD (End Point Detector). 目的：利用etching從開始到結束特定波長光強度的變化，檢測出最佳蝕刻終點， EPD測量的光的強度的變化有兩種。 https://kknews.cc 化學機械研磨(CMP)應用在不同絕緣層與金屬層終點偵測技術的 ...
論文名稱(英文), The study of CMP Endpoint Detection Technology for Various ... 本篇論文係針對CMP現有的終點偵測系統,在原理,設計及應用分別加以探究,同時 ... http://etds.lib.ncku.edu.tw 博碩士論文行動網
論文名稱(外文):, Research and Application of In-situ Endpoint Detection System in the CMP Process. 指導教授: 鄭璧瑩. 指導教授(外文):, Cheng Pi-Ying. 學位類別 ... https://ndltd.ncl.edu.tw |