ad 10 tmah
顯影液主名稱及危害:2.38%TMAH,見AD-10 SDS。 4. 晶圓操作與晶舟取放. □ 晶片拾取操作。 □ 晶片檢查:破損、斜插、疊片、正反面錯置、晶片 ...,Exposure. Base Dose 16µC/cm². • Post Exposure Bake. 105°C 120“. • Development. AD-10 2.38% TMAH 60“ puddle. • Rinse. Di-Water. • Hardbake. 110°C 120“.
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Exposure. Base Dose 16µC/cm². • Post Exposure Bake. 105°C 120“. • Development. AD-10 2.38% TMAH 60“ puddle. • Rinse. Di-Water. • Hardbake. 110°C 120“. http://www.ndl.org.tw TMAH系列 - 多聯科技
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