Sputter 代 工

濺鍍(sputtering)是利用電漿(plasma)對靶材料進行離子轟擊(ion bombardment),而將靶材料表面的原子撞擊出來,這些靶原子以氣體分子型式發射出來, ... ,Technical Dictionary....

Sputter 代 工

濺鍍(sputtering)是利用電漿(plasma)對靶材料進行離子轟擊(ion bombardment),而將靶材料表面的原子撞擊出來,這些靶原子以氣體分子型式發射出來, ... ,Technical Dictionary. Sputtering. Sputtering works by performing ion bombardment on targets using plasma and knocking the atoms off the surface of targets.

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真空濺鍍系統A (Sputtering System A) – 陽明交通大學奈米中心

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