Outgassing 半導體
半導體另一個分析項目為”材料外氣釋放”(Material Outgassing)。材料如果釋放出太多的有機成份，會污染晶圓。包括光罩、手套、晶舟……等可能會接觸到晶圓的 ... ,進行國內半導體廠內常見之結構材質進行釋氣(outgassing)分析調. 查，以了解污染物之可能來源與成因。 5. 利用微環境工作平台之污染控制，模擬探討高吸附特性之 ...
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 Outgassing 半導體 相關參考資料
PowerPoint 簡報
結在乾淨表面之化學物質(水除外)，所以在半導體廠會凝結於晶圓. 上。 ... 半導體製程中，晶圓缺陷(Wafer Defect)一直是有礙於產品良率 ... Corrosion Outgassing)。 http://www.sinotech.org.tw 半導體工業 - 博精儀器股份有限公司
半導體另一個分析項目為”材料外氣釋放”(Material Outgassing)。材料如果釋放出太多的有機成份，會污染晶圓。包括光罩、手套、晶舟……等可能會接觸到晶圓的 ... http://www.aandb.com.tw 國立交通大學環境工程研究所 - 國立交通大學機構典藏
進行國內半導體廠內常見之結構材質進行釋氣(outgassing)分析調. 查，以了解污染物之可能來源與成因。 5. 利用微環境工作平台之污染控制，模擬探討高吸附特性之 ... https://ir.nctu.edu.tw 微污染控制之成功案例
隨著半導體晶圓關鍵尺寸微小化、平面顯示器面積具大化，先進製程產品正. 面臨微量 ... (如濾材、塑膠手套)材料釋氣(outgassing)及製程尾氣或製程氣體管路洩漏等。 http://www.lkeng.com 微量量氣體分析儀(RGA)應 用於真空艙殘氣分析
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