HF 蝕刻
非等向性蝕刻：薄膜遭受固定方向，尤其是垂直方向的蝕. 刻，所造成的結果 ... Buffered HF or Buffered Oxide Etchant (BOE). ✓ NH. 4. F+HF+H. 2. O. ◇Si. 3. N. 4. ,濕式蝕刻的應用. ▫. 濕式蝕刻不可在當CD < 3 µm時進行圖像蝕刻. ▫. 高選擇性. 二氧化矽的濕式蝕刻. 氫氟酸(HF)溶液. 通常稀釋在緩衝液或去離子水以減緩蝕刻速率.
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2. 濕式蝕刻製程 - 弘塑科技股份有限公司
在操作上常以H2SO4：H2O2=2~4 : 1體積比，在130℃的高溫下進行10~15分鐘的浸泡。 HF(BOE), 清除矽晶圓表面自然生成的氧化層，可使用稀釋後的氫氟酸（0.49 ... http://www.gptc.com.tw Chap9 蝕刻(Etching)
非等向性蝕刻：薄膜遭受固定方向，尤其是垂直方向的蝕. 刻，所造成的結果 ... Buffered HF or Buffered Oxide Etchant (BOE). ✓ NH. 4. F+HF+H. 2. O. ◇Si. 3. N. 4. http://waoffice.ee.kuas.edu.tw Etching
濕式蝕刻的應用. ▫. 濕式蝕刻不可在當CD < 3 µm時進行圖像蝕刻. ▫. 高選擇性. 二氧化矽的濕式蝕刻. 氫氟酸(HF)溶液. 通常稀釋在緩衝液或去離子水以減緩蝕刻速率. http://homepage.ntu.edu.tw HF 釋放式蝕刻| SPTS - SPTS Technologies
領先業界的Primaxx® HF 氣相蝕刻釋放技術可用於移除氧化矽犧牲層，主要作用是釋放MEMS 裝置中的矽微結構。 專屬的乾式工藝可以避免所釋放活動零件的黏滯 ... https://www.spts.com 分別是純的
本文將討論兩種不同的配方來進行蝕刻；分別是純的BOE以及. HF加上HCl。我們將選擇適當的配方做為之後濕式蝕刻以及表面修飾. 的條件。 （A）. （B）. https://ir.nctu.edu.tw 化骨水奪命！3分鐘看懂：科技業常用的「氫氟酸」，到底是 ...
2019年8月30日 — 氫氟酸(Hydrogen Fluoride, HF)，亦名氟化氫，俗稱氟酸、化骨水，對人 ... 烷化反應之觸媒，在一般工業上則用於除污、除銹、蝕刻、酸洗等。 https://www.businesstoday.com. 最常使用之晶圓表面清潔步驟為濕式化學法
HF/H2O. 原生. 氧化物. BHF. 稀釋之氫氟酸. NH4F/HF/H2O. 污染物對半導體元件電性的影響. 1.塵粒（Particle) ... H2SiF6 可溶於水，因此HF 溶液能蝕刻二氧化矽. http://www.ndl.org.tw 氫氟酸- 維基百科，自由的百科全書 - Wikipedia
SiF4易溶於水，與HF繼續反應：. S i F 4 ... 氫氟酸也用來蝕刻玻璃，半導體工業使用它來除去矽表面的氧化物，在煉油廠中它可以用作異丁烷和丁烷的烷基化反應的 ... https://zh.wikipedia.org |