Gamma ash 半導體
然而，这些较低的温度也显著地降低了灰化率（ash rate)和产量。 [0009] 如图IB所示，在离子植入之前已使用将衬底暴露于紫外（UV)光，以使光阻剂层交联。这种手法 ... ,隨著半導體產業移轉至採用超淺接面、多重曝光(multiple patterning)、超低k值介電層以及3D結構等技術，光阻去除製程需要能有效地處理更複雜的元件結構。
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 Gamma ash 半導體 相關參考資料
Cleaning
半導體製程常見之特殊氣體. 氣體種類. 氣體. 符號. 使用例子. 氫化物. 矽甲烷. SiH. 4. 沈積過程中矽的原料. 胂(砷化三氫). AsH. 3. 摻雜n型矽晶圓之砷的原料. 磷化氫. http://waoffice.ee.kuas.edu.tw CN105047546A - 增强离子植入的抗蚀剂去除的等离子体干式 ...
然而，这些较低的温度也显著地降低了灰化率（ash rate)和产量。 [0009] 如图IB所示，在离子植入之前已使用将衬底暴露于紫外（UV)光，以使光阻剂层交联。这种手法 ... https://patents.google.com GAMMA系列產品- Lam Research
隨著半導體產業移轉至採用超淺接面、多重曝光(multiple patterning)、超低k值介電層以及3D結構等技術，光阻去除製程需要能有效地處理更複雜的元件結構。 https://www.lamresearch.com TWI518773B - 在高劑量植入剝除前保護矽之增強式鈍化製程 ...
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本文中的實施例係關於蝕刻半導體基板的方法及設備。 ... 遠端電漿設備例如是來自諾發系統的GAMMA™平台設備，諾發系統現在是來自加州費里蒙的科林研發。 ... Method for improving ash rate uniformity in photoresist ashing process equipment. https://patents.google.com Yu-Chih Hung - Test Development Engineer - 台積電| LinkedIn
2016 – July. 2017) Etching Process Engineer － N28 STI Etching (OD) － N28 Strain Source Drain Etching (SSD) － FEOL & BEOL Mattson/Gamma O2/CF4 Ash https://tw.linkedin.com 光阻去除與晶圓清洗產品 - Lam Research
GAMMA系列產品. Dry Strip. 這些產品可為各種關鍵的光阻去除應用提供所需的製程靈活性。 Advanced Memory, Interconnect, Patterning, Transistor · 全部詳情 ... https://www.lamresearch.com 清洗製程
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锗（英語：Germanium，舊譯作鈤）是一种化學元素，它的化学符号是「Ge」，原子序数是32。它是一種 ... 鍺是一種重要的半导体材料，用於製造晶体管及各種電子裝置。 ... 若煤炭發電廠用的煤是從高鍺濃度的礦床來的話，那麼發電廠的飛灰（fly ash）也是 ... 高純度的鍺晶體還被用於伽瑪光譜學（gamma spectroscopy）和探尋暗物質的探測 ... https://zh.wikipedia.org |