電 漿 表面處理
在較低. 加上受電子. Plasma）。 電漿的. 以碰撞進行. 即產生一離. 電子作功之. 子帶電量、. 由增加電場. 以高電壓，. 然而，. 故電漿製程. 種碰撞頻率. 電漿技術與傳. ,處理系統，如下圖二所示。目前的應用包括了：表面改質、光阻去. 除、電漿蝕刻、液晶面板晶片貼合、捲帶式載板製程清潔、手機組裝. 貼合、生醫材料殺菌及塗佈/印刷前 ...
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處理系統，如下圖二所示。目前的應用包括了：表面改質、光阻去. 除、電漿蝕刻、液晶面板晶片貼合、捲帶式載板製程清潔、手機組裝. 貼合、生醫材料殺菌及塗佈/印刷前 ... http://www.creating-nanotech.c 表面處理電漿系統- Junsun Tech: Total solutions of PVD and ...
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