電 漿 清洗 英文

而電漿清洗時的原理? 電漿在維基百科有詳細的介紹,請參考: http://zh.wikipedia.org/zh-tw/%E7%94% ..., 電漿清洗時腔體為何需抽離到真空狀態?為何需加入製程氣體?而電漿清洗時的原理?

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電漿清洗時腔體為何需抽離到真空狀態?為何需加入製程氣體?而電漿清洗時的原理?

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