電漿的法拉第暗區
玻璃外殼陰極(一)陽極( + )陰極暗區陽極暗區|法拉第暗區負熾熱正柱第aw | |陽極陰極熾熱離子電漿鞘( b )圖7 . 1 直流二極系統的熾熱放電, ( a )熾熱放電的結構, ... ,這將使得電漿區的電位Vp會略高於陽極,而這個電漿區的Vp電位,又會促使離子往陰極方向移動,並減緩 ... 陰極(-)正態柱列陽極(+)法拉第暗區陽極暗區陰極暗區圖3.6.
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1.1 濺鍍系統 - eThesys 國立中山大學學位論文服務
(4)法拉第暗區、正極光柱區:這兩個區域都是在兩個電極板的距離. 足夠時，才能夠發生，在一般的濺鍍裝置所產生的電漿不會有法. 拉第暗區及正極光柱區的發生。 大 ... https://etd.lis.nsysu.edu.tw 半導體製程設備 - 第 261 頁 - Google 圖書結果
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這將使得電漿區的電位Vp會略高於陽極,而這個電漿區的Vp電位,又會促使離子往陰極方向移動,並減緩 ... 陰極(-)正態柱列陽極(+)法拉第暗區陽極暗區陰極暗區圖3.6. https://books.google.com.tw 國立交通大學機構典藏- 交通大學
間轟擊表面下，發現基板表面出現氧化鐵顆粒，因此，利用電漿處理時可. 在表面沉積氧化 ... Region)、負極輝光區(Negative Glow Region)、法拉第暗區(Faraday Dark. https://ir.nctu.edu.tw 真空技術精華 - 第 189 頁 - Google 圖書結果
電管内則因此些氣體分子存在而使輝光放電的顏色變成乳白色。 ... 陷阱連接在擴散幫浦抽氣口以陷捕油電源串聯電阻圖 6.6 放電管法拉第暗區^直線寬條電漿 蒸氣。 https://books.google.com.tw 輝光放電:輝光放電（glow discharge）是指低壓氣體中顯示輝光 ...
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其中以負輝光區、法拉第暗區和正柱區為主體。 ... 氣體放電; 電弧放電; 電暈放電; 帕邢定律; 磁控濺射; 電漿; 流註理論; 輝光碟; 尖端放電; 高壓氣體放電燈; 放電; 污閃 ... https://www.itsfun.com.tw 電漿基礎實驗
陰極暗區的厚度與電漿中的物理量息息相關。而輝光放電電漿中. 的物理量諸如電子密度(Electron density)，亦即離子密度(Ion density)、離子化度 ... http://en.fcu.edu.tw |