電漿原理
因此，ICP 又稱為變壓器偶合式電漿(Transformer. Coupled Plasma, TCP)。電感偶合式電漿在低輸入功率. (低電漿密度)時，射頻功率之偶合是以線圈與電漿間. ,電漿基礎原理. 2. 電漿的成分. • 電漿是由中性原子或分子、電子(-）和正電離. 子所構成. 1. 游離率主要決定於電漿中的電子能量. 2. 在大部分的電漿製程反應室中， ...
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因此，ICP 又稱為變壓器偶合式電漿(Transformer. Coupled Plasma, TCP)。電感偶合式電漿在低輸入功率. (低電漿密度)時，射頻功率之偶合是以線圈與電漿間. https://www.ps-taiwan.org 第五章電漿基礎原理
電漿基礎原理. 2. 電漿的成分. • 電漿是由中性原子或分子、電子(-）和正電離. 子所構成. 1. 游離率主要決定於電漿中的電子能量. 2. 在大部分的電漿製程反應室中， ... http://homepage.ntu.edu.tw 奇妙的物質第四態——電漿－科技大觀園
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